Oprensning

Gasoprensning
Uorganiske regenererbare medier til oprensning af gas ved omgivende temperaturer til ppt-niveauer (parts per trillion) Entegris' innovative produkter og teknologier til kontrol af mikrokontamination af gas er med til at sikre, at vores kunder har den nyeste teknologi og er klædt på til at møde udfordringerne ved fremtidens avancerede enheder, solceller, biovidenskab og litiumionbatterier.

Væskeoprensning
Fjernelse af metal-ion-kontaminanter Entegris' væskeoprensningsteknikker leverer den ultimative beskyttelse mod metal-ion-kontamination ved effektiv fjernelse af metal-ioner fra ultrarent vand og visse organiske opløsningsmidler i en enkelt arbejdsgang. Det er ideelt til kritiske rensningsopgaver, herunder rensning af deioniseret vand efter recirkulation og rengøring af procesværktøjer, wafer-tørring og post-CMP i en enkelt arbejdsgang.