Filtrering

Entegris tilbyder filtreringsløsninger baseret på et bredt udvalg af medieteknologi og ydeevnekriterier samt analytiske tjenester med henblik på påvisning af kontamination i teknologimiljøer og analyse/validering af materialer.

Gasfiltrering

Filterteknologier med nikkel, rustfrit stål og Teflon®. De ultrarene gasfiltreringsprodukter fra Entegris giver 0,003 μ partikelfiltrering til anvendelsesområder med behov for ultraren gas. Wafergard® gasfiltre giver mulighed for højere gennemløb af procesgas med et gasapparat, der ikke fylder meget. De ultrarene gasfiltreringsprodukter fra Entegris anvendes af alle de store halvleder-OEM'er og til produktion af ætsnings-, CVD-, PVD- og ionimplantationsværktøjer samt andre områder, hvor kvalitet er et krav, fx solceller, fladskærme, datalagring og HBLED (lysdioder med kraftig lysstyrke), biovidenskab og litiumionbatterier. Entegris indbygger gasfiltrene i sine gasrensere med henblik på at levere proces- og skyllegas, der er fri for både molekylær kontamination og partikelkontamination.

Væskefiltrering

Kontaminationskontrol af procesvæsker. Der sker hele tiden udvikling af kontaminationskontrol, med teknologiske fremskridt og forbedringer inden for produktion af halvledere, fladskærme, datalagring, solceller, biovidenskab og litiumionbatterier. CMP-opslæmning, syrer, baser, fotokemi og deioniseret vand kræver alle avanceret filtrering for at fjerne partikler og agglomerat, som medfører defekter, hvis de ikke fjernes, før de når waferen eller substratoverfladen. Entegris tilbyder et komplet udvalg af filtre til løsning af udfordringerne ved kontaminationskontrol, som vores kunder står overfor.